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HTCC(高溫共燒陶瓷)工藝

以采用將其材料為鎢、鉬、鉬\錳等高熔點金屬發(fā)熱電阻漿料按照發(fā)熱電路設計的要求印刷于92~96%的氧化鋁流延陶瓷生坯上,4~8%的燒結助劑然后多層疊合,在1500~1600℃下高溫下共燒成一體,從而具有耐腐蝕、耐高溫、壽命長、高效節(jié)能、溫度均勻、導熱性能良好、熱補償速度快等優(yōu)點。
隨著各種電子器件集成時代的到來,電子整機對電路小型化、高密度、多功能性、高可靠性、高速度及大功率化提出了更高的要求,因為共燒多層陶瓷基板能夠滿足電子整機對電路的諸多要求,所以在近幾年獲得了廣泛的應用。共燒多層陶瓷基板可分為高溫共燒多層陶瓷(HTCC)基板和低溫共燒多層陶瓷(LTCC)基板兩種。高溫共燒陶瓷與低溫共燒陶瓷相比具有機械強度高、布線密度高、化學性能穩(wěn)定、散熱系數(shù)高和材料成本低等優(yōu)點,在熱穩(wěn)定性要求更高、高溫揮發(fā)性氣體要求更小、密封性要求更高的發(fā)熱及封裝領域,得到了更為廣泛的應用。
陶瓷散熱基板特性表一為各基板散熱特性及制程條件之比較與分析,熱傳導率代表基板材料本身直接傳導熱能的一種能力,數(shù)值愈高,代表其散熱能力愈好。因此,散熱基板熱傳導效果的優(yōu)劣成為選用散熱基板時重要的評估項目之一。由表一四種陶瓷基板散熱的熱傳導率數(shù)值比較可知,Al2O3材料之熱傳導率約在20~24,LTCC為0.5~3W/m?K;而HTCC因基板中氧化鋁含量在92~96%,相對于一般氧化鋁基板氧化鋁含量在96%以上,其熱傳導率略低于氧化鋁基板,約在15~20W/m?K之間。而DBC與DPC散熱基板則可選擇氧化鋁或氮化鋁基板,因此散熱效果較HTCC、LTCC基板佳。
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